กระบวนการผลิตไมโครชิปและชิ้นส่วนอิเล็กโทรนิกส์ กับการวิเคราะห์ปริมาณออกซิเจน

กระบวนการผลิตไมโครชิปและชิ้นส่วนอิเล็กโทรนิกส์ กับการวิเคราะห์ปริมาณออกซิเจน

กระบวนการผลิตไมโครชิปและชิ้นส่วนอิเล็กโทรนิกส์ กับการวิเคราะห์ปริมาณออกซิเจน
Semiconductor Production And Oxygen Analysis

ในกระบวนการในการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กโทรนิกส์แทบทั้งหมด จะมีการใช้ก๊าซเพื่อบรรจุในห้องแทนที่อากาศและจะต้องถูกควบคุมปริมาณก๊าซอย่างเข้มงวด เช่น ก๊าซออกซิเจน และก๊าซไฮโดรเจนจะใช้ในกระบวนการ Annealing เพื่อทำปฎิกริยาเกิดเป็นออกไซด์หรือไฮไดรด์

แต่ถึงอย่างนั้นก็ใช่ว่าทุกกระบวนการจะต้องการออกซิเจนทั้งหมด ในบางกระบวนการก๊าซออกซิเจนกลับสร้างความเสียหายให้แก่ผลิตภัณฑ์หรือมีผลต่อกระบวนการผลิตได้เช่นกัน จึงต้องกำจัดอากาศที่มีการเจือปนของก๊าซออกซิเจนและต้องควบคุมให้มีปริมาณน้อยที่สุด การที่มีเครื่องวิเคราะห์ปริมาณออกซิเจนที่แสดงผลอย่างต่อเนื่องจึงเป็นการลงทุนที่คุ้มค่าเพื่อให้กระบวนการผลิตมีประสิทธิภาพสูงสุด และได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสูงสุด

แล้วออกซิเจนจะเล็ดลอดเข้าไปในท่อก๊าซที่อัดแรงดันได้อย่างไร??
หลายๆ ท่านอาจจะเข้าใจผิดว่า ออกซิเจนจะไม่สามารถแพร่เข้าสู่ระบบแก๊สที่อัดแรงดันสูงๆ ได้แม้จะมีการรั่วซึมบางจุดก็ตาม แต่ ความเชื่อนี้ถูกต้องแค่บางส่วนเท่านั้น

ก่อนอื่นอยากจะให้ผู้อ่านทุกท่านลองมองผ่านก๊าซออกซิเจนให้ลึกลงไปถึงระดับโมเลกุล โดยธรรมชาติของก๊าซอนุภาคโมเลกุลของแต่ละก๊าซจะมีช่องว่างขนาดใหญ่ระหว่างกัน ทีนี้กลับมาดูที่จุดรั่วในระบบท่อของท่านซึ่งแน่นอนว่าจะต้องใหญ่กว่าขนาดโมเลกุลของออกซิเจนเสมอ และจากกฎความดันย่อยของดาลตัน ก๊าซผสมจะขยายตัวปรับเข้ากับสมดุลในภาชนะ โดยไม่รบกวนความดันของกันและกัน ดังนั้นเมื่อมีจุดรั่วไหลเกิดขึ้น โมเลกุลก๊าซจากในท่อซึ่งมีความดันสูงจะเคลื่อนออกมาสู่บรรยากาศที่มีความดันต่ำกว่า ในขณะเดียวกันก็จะมีโมเลกุลออกซิเจนปริมาณหนึ่งเคลื่อนที่จากบรรยากาศภายนอกที่มีความดันต่ำกว่าเข้าสู่ระบบท่อก๊าซที่มีความดันสูงกว่าด้วยเช่นกัน

ภาพ C ก๊าซออกซิเจนมีช่องว่างระหว่างโมเลกุลมากเมื่อรูที่รั่วใหญ่กว่าจึงมาโอกาสที่จะเข้าไปยังระบบท่ออัดแรงดันได้

รู้หรือไม่ว่าลวดลายขนาดเล็กยิ่งกว่าขนาดไมครอนที่ฝังอยู่บนชิปเล็กๆ นั้นทั้งสลับซับซ้อนและอัดแน่นที่อยู่ทุกพื้นที่ หากมีโมเลกุลของน้ำหรือออกซิเจนเพียงไม่กี่โมเลกุล ในกระบวนการที่มีการใช้แก๊สเฉื่อย ก็มากเพียงพอที่จะสร้างความเสียหาย เนื่องจากไปทำปฏิกริยากับสารเคมีบนชั้น wafers ทำให้คุณภาพสินค้าลดลงจนถึงใช้การไม่ได้

  ทาง ENTECH เราก็มีตัวช่วยเพื่อให้การควบคุมก๊าซในระบบมีความบริสุทธิ์และเจือปนออกซิเจนน้อยที่สุด นั่นก็คือ

Trace Oxygen Analyzer รุ่น 2010BX จาก AMI ประเทศสหรัฐอเมริกา

เครื่องวิเคราะห์ปริมาณออกซิเจนรุ่น 2010BX เทคโนโลยีเฉพาะของผู้ผลิต ทำให้เครื่องวิเคราะห์ปริมาณออกซิเจน 2010BX นี้ มีความแม่นยำถูกต้องนอกจากนั้นช่วงการวัดยังมีความละเอียดลงได้ถึงระดับ ppm หรือมีให้เลือกหน่วยการวัดแบบ %Vol สำหรับช่วงการวัดที่กว้างขึ้นได้ตามความเหมาะสมของหน้างาน และการตอบสนองอ่านค่าปริมาณก๊าซออกซิเจนได้อย่างถูกต้องรวดเร็ว

เทคโนโลยีการออกแบบเฉพาะ ของทาง AMI

ELIMINATOR CELL BLOCK™
เป็นการออกแบบที่ได้สิทธิบัตรของทาง AMI เพื่อป้องกันการรั่วของก๊าซในเครื่องวิเคราะห์และการออกแบบแนวท่อลำเลียงก๊าซทำให้ลดระยะทางลงแต่เพิ่มประสิทธิภาพมากขึ้น นอกจากนี้ยังมีการออกแบบวาล์ว 3 ทางที่เป็นเอกลักษณ์เฉพาะ สามารถเลือกได้ระหว่างก๊าซตัวอย่าง, ก๊าซที่ใช้ในการสอบเทียบ และ ปิดไม่ให้มีการรับก๊าซเข้า และยังมีเซนเซอร์วัดความดัน และอัตราการไหล ทั้งหมดนี้ได้รับการออกแบบอย่างลงตัวภายในกล่อง ELIMINATOR CELL BLOCK™ ขนาดกะทัดรัดแต่มีประสิทธิภาพสูง ง่ายต่อการเปลี่ยนเซนเซอร์ และการสอบเทียบ

การออกแบบเพื่อติดตามค่าได้อย่างรวดเร็ว โดยส่วนที่สำคัญคือความยาวของท่อที่ทำหน้าที่ลำเลียงก๊าซภายในเครื่องวิเคราะห์ กล่าวคือหากยิ่งมีท่อลำเลียงที่ยาวก็จะยิ่งใช้เวลาในการอ่านค่าที่นานด้วย การออกแบบของ AMI จึงพัฒนาให้มีท่อลำเลียงที่สั้นกว่าแบรนด์อื่นในตลาด

เทคโนโลยีเอกสิทธิ์เฉพาะของเซนเซอร์ AMI เท่านั้น
เซนเซอร์ซึ่งเป็นการออกแบบที่ได้จดสิทธิบัตรของทาง AMI พัฒนาเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพ ความรวดเร็ว ถูกต้องแม่นยำและเชื่อถือได้เซนเซอร์ทุกชิ้นจะต้องผ่านการทดสอบจากทางโรงงานผู้ผลิตเพื่อสร้างความมั่นใจให้แก่ผู้ใช้งานเซนเซอร์ออกซิเจนยังคงใช้งานได้แม้ในสภาวะที่มีปริมาณก๊าซไฮโดนเจนซัลไฟด์ที่สูงถึง 500 ppm

ฟังก์ชันครบครันในราคาที่สมเหตุสมผล
ซอฟแวร์อัจฉริยะของ AMI (command center) ประสิทธิภาพสูง ใช้งานง่ายทำให้การตั้งค่าควบคุมเครื่อง Analyzer เป็นเรื่องง่าย

การใช้งานจริง
ผู้ใช้จริงเป็นผู้ผลิตชิ้นส่วนอิเล็กโทรนิกส์ส่วนไมโครชิป ในกระบวนการผลิตมีการควบคุมให้ไม่เกิน 5 ppm อย่างเคร่งครัด เนื่องจากส่งผลต่อคุณภาพสินค้าของผู้ใช้อย่างมาก ผู้ใช้ไว้วางใจให้เครื่อง AMI รุ่น 2010BX ช่วยติดตามปริมาณ ออกซิเจนตลอด 24 ชั่วโมง เพื่อลดต้นทุนการผลิตที่เกิดสูญเสียในกระบวนการ และ เพิ่มคุณภาพสินค้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ

สนใจสอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมได้ที่ : คุณสุภาภรณ์ จำนงวุฒิโรจน์  โทร. 092-249-8787  หรือ Line ID : @entech

เราใช้คุกกี้เพื่อพัฒนาประสิทธิภาพ และประสบการณ์ที่ดีในการใช้เว็บไซต์ของคุณ คุณสามารถศึกษารายละเอียดได้ที่ นโยบายความเป็นส่วนตัว และสามารถจัดการความเป็นส่วนตัวเองได้ของคุณได้เองโดยคลิกที่ ตั้งค่า

Privacy Preferences

คุณสามารถเลือกการตั้งค่าคุกกี้โดยเปิด/ปิด คุกกี้ในแต่ละประเภทได้ตามความต้องการ ยกเว้น คุกกี้ที่จำเป็น

Allow All
Manage Consent Preferences
  • คุกกี้ที่จำเป็น
    Always Active

    ประเภทของคุกกี้มีความจำเป็นสำหรับการทำงานของเว็บไซต์ เพื่อให้คุณสามารถใช้ได้อย่างเป็นปกติ และเข้าชมเว็บไซต์ คุณไม่สามารถปิดการทำงานของคุกกี้นี้ในระบบเว็บไซต์ของเราได้

  • คุกกี้เพื่อการวิเคราะห์

    คุกกี้ประเภทนี้จะทำการเก็บข้อมูลการใช้งานเว็บไซต์ของคุณ เพื่อเป็นประโยชน์ในการวัดผล ปรับปรุง และพัฒนาประสบการณ์ที่ดีในการใช้งานเว็บไซต์ ถ้าหากท่านไม่ยินยอมให้เราใช้คุกกี้นี้ เราจะไม่สามารถวัดผล ปรังปรุงและพัฒนาเว็บไซต์ได้

Save